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产品描述
542系列 — 光栅式测微仪/测微头(耐环境型)
LG100系列
规格
| 货号 | 542-190 | 542-191 | 542-192 | 542-193 | 542-194 | 542-195 | 542-196 | 542-197 | |
| 型号 | LG100-110 | LG100-0510 | LG100-0110 | LG100-125 | LG100-0525 | LG100-0125 | LG100-150 | LG100-0550 | |
| 测量范围 | 10 mm | 25 mm | 50 | mm | |||||
| 分辨力 | 1 pm | 0.5 pm | 0.1 pm | 1 pm | 0.5 pm | 0.1 pm | 1 pm | 0.5 pm | |
| 示值误差（20。0 L二任意测量长度（mm） | 1.5 + L/50 pm | 0.8 + L/50 pm | 1.5 + L/50 pm | 0.8 + L/50 pm | 1.5 + L/50 pm | ||||
| 窄范围示值误差 | 0.5pm （任意20卩m的范围） | ||||||||
| 重复性:2q (20°C) | 0.3 pm | ||||||||
| 原点重复性:o （20°C） | o<0.5 pm （在同一方向通过原点的恒定速度低于300mm/s） | ||||||||
| 测力 | 测杆朝下 | 1.4N以下 | 4.6 N以下 | 5.7 N以下 | |||||
| 测杆水平 | 1.3N以下 | 4.3 N以下 | 5.3 N以下 | ||||||
| 测杆朝上 | 1.2N以下 | 4.0 N以下 | 4.9 N以下 | ||||||
| 位置检出方式 | 光电式透射型线性编码器 | ||||||||
| 最大响应速度 | 1,500 mm/s | 400 mm/s | 1,500 mm/s | 400 mm/s | 1,500 mm/s | ||||
| 输出信号 | 90°相位差，差动方形波（RS-422A等效） | ||||||||
| 最小边缘间隔 | 500 ns (2 MHz) | 250 ns | (4 MHz) | 500 ns (2 MHz) | 250 ns | (4 MHz) | 500 ns (2 MHz) | 250 ns (4 MHz) | |
| 输出信号间距 | 4 pm | 2 pm | 0.4 pm | 4 pm | 2 pm | 0.4 pm | 4 pm | 2 pm | |
| 原点信号（Z相）位置 | 距测 | 头顶端（下死点）约3mm | 距测 | 头顶端（下死点）约5mm | |||||
| 质量 | 约260 g | 约300 g | 约400 g | ||||||
| 测头 | 03mm硬质合金（安装螺纹：M2.5（P=0.45）x5）标准测头No.901312 | ||||||||
| 装夹套筒直径 | 08 mm | 015 mm | |||||||
| 轴承类型 | 线性滚珠轴承 | ||||||||
| 输出电缆长度 | 2m （M主体直接引出） | ||||||||
| 连接器 | 使用插头:HR10A-10P-10P (HIROSE),兼容插座:HR10A-10R-10S (HIROSE),兼容连接器:HR10A-10J-10S (HIROSE) | ||||||||
| 使用温度（湿度）范围 | 0 - 50°C (20 - 80% RH,无凝结) | ||||||||
| 储存温度（湿度）范围 | -10-60°C (20 - 80% RH,无凝结) | ||||||||
| 标准附件 | 测头更换用扳手:538610 | 测头更换用扳手:210187 | |||||||
542系列 — 光栅式测微仪/测微头(细长型)
LG200
规格
| 货号 | 542-186 | 542-187 | 542-188 |
| 型号 | LG200-110 | LG200-0510 | LG200-0110 |
| 测量范围 | 10mm | ||
| 分辨力 | 1pm | 0.5|jm | O.lpm |
| 示值误差（20°C） | 1.5+L/50pm L=任意测量长度(mm) | 0.8+L/50卩m日壬意测量长度（mm） | |
| 窄范围精度 | 0.5pm (ff意20四范围) | ||
| 重复性：2叫20。0 | 0.3|jm | ||
| 测杆朝下 | 0.8N以下 | ||
| 测力 测杆水平 | O.75N以下 | ||
| 测杆朝上 | 0.7N以下 | ||
| 位置检出方式 | 光电式透射型线性编码器 | ||
| 最大响应速度 | 1500mm/s | 400mm/s | |
| 输出信号 | 90。相位差，差动方形波（RS-422A等效） | ||
| 最小边缘间距 | 500ns (2MHz) | 250ns (4MHz) | |
| 输出信号间距 | 4pm | 2pm | 0.4pm |
| 质量 | 约2Wg | ||
| 测头 | 03mm硬质合金（安装螺纹：M2.5（P=0.45）x5）标准测头No.901312 | ||
| 装夹套筒直径 | 08mm | ||
| 轴承类型 | 线性滚珠轴承 | ||
| 输出电缆长度 | 约2.5m （从主体直接引出） | ||
| 使用插头:HR10A-10P-10P (HIROSE),兼容插座:HR10A-10R-10S (HIROSE) | |||
| 兼容插孔:HR10A-10J-10S (HIROSE) | |||
| 使用温度（湿度）范围 | 0-50—(20-80% RH,无凝结) | ||
| 储存温度（湿度）范围 | -10-60°C (20-80% RH,无凝结) | ||
| 标准附件 | 测头更换用扳手:No.538610 | ||
542系列 — 光栅式测微仪/测微头(细长型)
LGB2
规格
| 类型 | L-型 | 细长型 | 低测力型 | 测头气动型如 | ||||
| 货号 | 542-246 | 542-244 | 542-262 | 542-262H | 542-264 | 542-270*2 | ||
| 型号 | LGB2-0105L | LGB2-105L | LGB2-110 | LGB2-110H | LGB2-110-1 | LGB2-110AR | ||
| 测量范围 | 5mm | 10mm | ||||||
| 分辨力 | 0.1pm | 1pm | ||||||
| 示值误差（20。。 | 0.8pm | 2 pm | 1pm | 2 pm | ||||
| 响应速度 | 380m m/s | 900m m/s | ||||||
| 测力 | 测杆朝下 | 0.65h | 以下 | OWN以下 | 0.6N以下 | 0.8N以下 | ||
| 测杆水平 | 0.6N以下 | O.75N以下 | O.55N以下 | O.75N以下 | ||||
| 测杆朝上 | O.55N以下 | 0.7N以下 | 0.5N以下 | 0.7N以下 | ||||
| 质量 | 约 160g | 约 155g | 约 170g | |||||
| 测头 | 03mm硬质合金（安装螺纹：M2.5（P=0.45）x5）标准测头No.90131 | 2 | ||||||
| 装夹套筒直径 | 09.5 | |||||||
| 轴承类型 | 线性滚珠轴承 | |||||||
| 输出电缆长度 | 2m （从主体直接引出） | |||||||
| 连接器 | 使用插头 |RM12BPE-6PH (HIROSE).兼容插座:RM12BRD-6S (HIROSE) | |||||||
| 使用温度（湿度）范围 | 0-40°C(20-80% RH.无凝结) | |||||||
| 储存温度（湿度）范围 | -10-60°C(20-80% RH.无凝结) | |||||||
| 标准附件 | 测头更换专用扳手：No.538610 | |||||||
542系列 — 高精度光栅式测微仪
LGH (0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)
| 货号 | 542-715DC （标准型） | 542-716DC ■ 测力型） |
| 型号 | LGH-1010-B-EH | LGH-1010C-B-EH |
| 测量范围 | 10mm | |
| 分辨力 | 0.01 pm （0.05pm, 0.1 pm, 0.5pm, 1 卩 m 用计数器可切换） | |
| 示值误差（20°C）*1 | 0.2pm | |
| 重复性（20°C）*1 | 0.1pm （2 c?） | |
| 回程误差（20°C）*1 | 0.1pm | |
| 测杆朝下 | 0.65N以下 | 约 0.12N |
| 测力 测杆水平 | O.55N以下 | 不可使用 |
| 测杆朝上 | 0.45N以下 | 不可使用 |
| 位置检出方式 | 光电反射型线性编码器 | |
| 响应速度 | 通常测量时：700mm/sec峰值检测时：120mm/sec | |
| 测微头质量 | 约370g | |
| 测头 | 硬质合金S03mm （M2.5 （P=0.45） x 5mm）标准测头No.901312 | |
| 装夹套筒直径 | 015mm | |
| 轴承类型 | 线性滚珠轴承 | |
| 输出电缆长度 | 约2 m | |
| 使用温度（湿度）范围 | 0°C -40°C （基准温度20°C） / 20 - 80% RH （无凝结） | |
| 储存温度（湿度）范围 | -10°C- 60°C / 20 - 80% RH （无凝结） | |
575系列 — 容栅式测微仪/测微头(Digimatic输出型)
LGS-1012P
| 货号 | 575-303 | |
| 型号 | LGS-1012P | |
| 测量范围 | 12.7mm | |
| 分辨力 | 10pm | |
| 示值误差（20°C） | 15pm | |
| 测力 | 测杆朝下 | 2N以下 |
| 测杆水平 | 1.8N以下 | |
| 测杆朝上 | 1.6N以下 | |
| 位置检出方式 | 静电电容型ABSOLUTE线性编码器 | |
| 响应速度 | 无限（不适用于扫描测量） | |
| 输出方式 | DigimaticW 出 | |
| 质量 | 约 190g | |
| 测头 | 03mm硬质合金（安装螺纹:M2.5 （P=0.45）x5）标准测头No.901312 | |
| 装夹套筒直径 | 08mm | |
| 轴承类型 | 滑动轴承 | |
| 输出电缆长度 | 2m （从主体直接引出） | |
| 使用温度（湿度）范围 | 0-40—（20-80% RH,无凝结） | |
| 储存温度（湿度）范围 | -10-60°C（20-80% RH,无凝结） | |
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