手动、电动工具
GCM 12 GDL PROFESSIONAL 斜断锯
GSR 18V-60 FC PROFESSIONAL 充电式电钻/起子机
GDC 140 PROFESSIONAL 金刚石瓷砖切刀
GBH 18V-36 C PROFESSIONAL充电式锤钻
GBM 400 PROFESSIONAL 手电钻
电源电子负载
ASD FLX 系列水冷模块化程控直流电源
Asterion DC 系列高性能直流电源
Asterion ASM 系列高功率三通道程控直流电源
Asterion ASA 系列宽范围三通道程控直流电源
信号发生器
MG3710E矢量信号发生器
R&S SMA100B 射频和微波信号发生器
安捷伦N5182A MXG 射频矢量信号发生器
33210A 波形/函数发生器
泰克 AWG70000 任意波形发生器
电磁测试
德国吉赫兹 ME3830B 低频电磁辐射检测仪
工频综合场强测试仪HC100（DC-100kHz）
低频电磁辐射分析仪EHC-150（1Hz-150kHz）
电磁辐射测试仪 E300-6（80kHz-6.5GHz）
产品描述
DektakXT
在各个领域完成重要数据的采集处理
薄膜监测 — 高效率的保证
对于半导体制造行业而言，及时监测镀膜膜厚和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力， 能节省宝贵的时间和金钱。不均匀的膜层或过大的应力，将导致差的优良率和不合格
的终端产品性能。 DektakXT 易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可确 认整片硅表面上薄膜的准确厚度，其精度可达纳米级别。 DektakXT 卓越的测量重复性 为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提 高产品的优良率。
混合电路的 DektakXT 3D 图像
DektakXT 可以可靠测量厚度小于 10nm 的薄膜
测量表面粗糙度 — 确保材料质量
在自动化，航空航天， 医药领域等各行各业，如果需要精确测量材料表面的粗糙度， DektakXT 是一个非常理想的检测仪器。比如在整形手术中需要植入的假体，在其背面 涂覆的羟基磷灰石，它的表面粗糙度会影响假体植入到体内后的黏附性和手术效果。使 用 DektakXT 快速检测材料表面的粗糙度， 可以获悉晶体材料的生长是否符合工程师的 要求，或者手术所需的植入体是否通过医学审核允许使用。使用 Vision64 软件中的数 据库功能，设定合格/淘汰条件，品管人员可以轻松确定植入体是否需要再加工还是定 为合格品。
人造膝关节背面羟基磷灰石涂层的表面粗糙度的 2D 扫描
太阳能电池栅线分析—— 降低生产成本
在太阳能领域，Dektak 已被作为测量单晶和多晶硅电池上主栅、 银线特征尺寸的首 选设备。 栅线的高度、宽度和连续性都直接影响了太阳能电池的能量传输能力。生产 过程中的最佳方案是节约贵金属银的使用量，同时又保证银浆的量足够覆盖在电池板上， 完成最佳的电导特性。 DektakXT 可使用线条分析功能为用户提供栅线的特征尺寸，以 确保足够的银浆覆盖，导电良好。 Vision64 的数据分析方法和自动操作功能使这一检验 核实的过程可以通过特定设置后自动完成。
太阳能电池栅线的 DektakXT 3D 图
DektakXT 追踪分析的特性可以自动提供导线的宽度，高度，面积和高 宽比，从而获得太阳能电池的光电转化效率。
微流体- 确保符合设计和质量要求
Dektak 是市场上唯一可以测量敏感材质上高达 1mm 垂直台阶的台阶仪，而且测量重复 性在埃米级别。 DektakXT 为微机电系统和微流体工业的研究者提供了关键尺寸测量的可靠 手段，以确保器件符合规格要求。超微力测量， Nlite+，可以保证在测量敏感材质时轻触
其表面而不破坏样品表面，得到台阶高度或表面粗糙度数据。
DektakXT
| 技术规格 | ||
| 测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术（接触模式） | |
| 测量范围 | 二维表面轮廓的测量可选择 三维测量及数据分析 | |
| 样品观测 | 可选择放大倍数，视场（FOV）范围：Ito4mm | |
| 探针传感器 | 低惯量传感器（LIS3） | |
| 探针作用力 | LIS 3传感器中1到15mg | |
| 低作用力模式 | N-Lite+低作用力0.03到15mg | |
| 探针选项 | 探针曲率半径50nmto 25 pm 高径比针尖（HAR） 10 pm x 2 pm and 200 pm x 20 pm;也可根据需求釆用用户 定制的针尖 | |
| 样品X/Y载物台 | 手动X/Y （4英寸）：100mm*100 mm,可手动校平 马达X/Y （6英寸）：150mm*150mm,可手动校平 | |
| 样品R-G载物台 | 手动,360度连续旋转 马达,360度连续旋转 | |
| 计算机系统 | 64位多核并行处理器,Windows® 7.0系统;可选配23英寸平板显器 | |
| 软件 | Vision64操作分析软件;应力测量软件；悬臂偏转测试软件； 选配：缝合软件;3D应力分析软件;3D测量软件 | |
| 隔振系统 | 多种隔振方案可供选择 | |
| 扫描长度范围 | 55mm (2 英寸) | |
| 普次扫描数据釆集点 | 最大120,000最 | |
| 大样品厚度 | 50mm (2 英寸) | |
| 最大晶片尺寸 | 200mm (8 英寸) | |
| 台阶高度重复性 | < 5A,测量1 pm台阶高度标准偏差 | |
| 垂直方向扫描范围 | 1mm (0.039 英寸) | |
| 垂直方向分辨率 | 最高分辨率可达1A （在6.55 pm测量范围内） | |
| 输入功率 | 100 -240 VAC, 50-60HZ | |
| 温度范围 | 可操作温度为20到25 °C (68 to 77°F) | |
| 湿度范围 | < 80%无凝结 | |
| 系统尺寸和重量 | 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5m. H) 34kg (751bs.) 隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H(21.6in. L x 23in. W x 17.5m. H) 21.7kg (481bs.) | |
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